真空计的别名真空表,是精确测量真空值或标准气压的仪器设备。通常是运用不一样标准气压下气体的某类物理效用?的转变开展标准气压的精确测量。在科学研究和工业化生产中普遍应用。
分类原理简介
依照真空计精确测量原理所运用的不一样的物理机制,可将主要的真空计分成三类别,各自是运用力学性能、运用气体动力学模型效用和运用带电粒子效应的真空计。
运用力学性能的真空计典型性的有波尔登规和薄膜电容;运用气体动力学模型效用的典型性真空计有皮拉尼(Pirani)电阻器规和热电阻规;运用带电粒子效用的典型性真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。