皮拉尼薄片复合真空规
型号：CX-PRN11 类型：复合真空规
适用气体：空气、氮气 反应时间：100ms
测量范围：5.0×10-2 ~1.5×10+5 Pa
供电：+16VDC 至 +30VDC/0.5A, 功耗 1.5W
防护等级：IP40，IEC529
重量：120g 接口：标准 KF16 法兰
接触真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 灯丝, 馈通玻璃
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产品概述
CX-PRN11由差压式MEMS压电传感器和皮拉尼传感器集成组成，两个传感器在测量上实现无缝过渡。它具有集成一体的电子控制线路、数字通讯系统、模拟电压输出和作为工艺控制的两个设定点。
连续真空工艺设备通常都将真空锁作为持续抽空主腔室的界面，当真空锁处于大气压时或高真空时，需要一个独立的传感器来指示指示阀门的开启方向。CX-PRN11结合MEMS压电与皮拉尼各自的优点形成一个集成的，紧凑的组件，既实现了大气压附件高精准、快反应、高重复的压力测量，又拥有从大气压到0.01Pa的宽量程，是理想的真空锁控制压强传感器
产品实拍
产品特点
压电差压单元与皮拉尼复合宽量程。
内置温度补偿，高精度
双控制点设定开关
一键大气/真空校准
电压型模拟量输出
支持RS485通讯Modbus-RTU协议
产品参数
| 真空接触材料 | SS304,SS316L不锈钢，钨灯丝，可伐合金，玻璃 |
| 测量范围 | 1.0×10-2 ~ 1.5×10+5 Pa |
| 测量精度 | 3.0×10+3 ~ 1.5×10+5 Pa：±1% 读数（压阻段） 1.0×10-1 ~ 3.0×10+3 Pa：±15%读数（皮拉尼段） 1.0×10-2 ~ 3.0×10-1 Pa：±20%读数（皮拉尼段） |
| 测量重复性 | ±1% 全量程 |
| 数据采集 | 分辨率：1%；响应时间：＜100ms |
| 温度特性 | 工作温度：0℃~+50℃；存储温度：5℃~+85℃（不结露） |
| 耐压（**压力） | 2.0×10+5 Pa |
| 信号输出 | RS485 Modbus-RTU （非隔离），波特率9600 bps 模拟量输出0.0V~+10.3VDC,*小阻抗10Ω |
| 供电电源 | +16 VDC至+30VDC/0.5A,*大功耗1.5W |
| 真空腔体 | 默认DN16 ISO-KF（其他需定制） |
| 重量 | 120g （DN16ISO-KF法兰） |
产品尺寸
