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在半导体行业中,真空计的应用主要体现在真空蒸镀、真空溅射、真空脱气等工艺过程中。真空蒸镀是一种薄膜沉积技术,通过在真空环境下将蒸发源加热,使其蒸发并在半导体表面沉积各种薄膜。真空溅射是一种薄膜沉积技术,通过在真空环境下将溅射源加热,使其溅射出离子并在半导体表面沉积各种薄膜。真空脱气是一种去除半导体表面空气污染物的技术,可以通过真空计监测和控制真空环境,以保证半导体制造工艺的顺利进行。此外,真空计还可以用于检测半导体设备和工艺过程中的漏气现象,以保证产品质量。
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