PVD设备

　　真空计是用于系统检测腔体或管道压力的关键元器件，在光伏行业中，PVD设备上水汽监测、控制蝶阀维持PVD、CVD、ALD工艺所需真空度、获取真空环境等场景。按照其测量原理以及量程、精度、组织构造分为不同类型。

　　关于如何使用光伏真空计，这取决于您使用的是哪种类型的真空计。例如，皮拉尼真空计的原理是加热电阻丝，使电阻丝升温至需要的工作温度。