真空镀膜

        真空镀膜机腔体内真空测量是指用特定的仪器和装置，对某一特定空间内真空高低的测定。这种仪器或装置称为真空计(仪器、规管)。真空计的种类很多，通常按测量原理可分为**真空计和相对真空计。

　　在玻璃真空镀膜机中，常用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空电子显微镜等。