微型科里奥利质量流量计

      科里奥利质量流量计（Coriolis Mass Flow meter）可以对流体介质的质量流量进行精确的测量和精密的控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

产品特点

直接测量质量流量，精度高

重复性好，量程比宽

对流体介质的温度、压力和粘度等不敏感

测量流体介质广泛

模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量

产品参数