小量程气体流量计

小量程气体流量计是一款质量流量计，既可以显示体积流量，也可以显示质量流量，用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

产品特点

高精度、重复性好，信号稳定。

数字信号，数据可以链接电脑数据导出。

预热时间短、领漂小。

不受安装方位的影响。

体积小、安装简单、使用方便。

接口定义

生产工厂