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液体质量流量控制器

  量程范围:10SCCM~20SLM
 

  零点漂移&满量程漂移:0.02%F·S/℃/Atm
 

  工作范围/量程可调比:2%~100%F·S/50:1
 

  最大可测流量:100%F·S

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